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浚辅科技申请具震动侦测及影像辨识的机械手臂
金融界 2025 年 1 月 31 日动静，公开号 CN 119381309 A，专利摘要显示，本发现为相关 一种具震动侦测及影像辨 识的机械手臂，次要布局包罗一晶圆搬运安拆、一枢设于晶圆搬运安拆上的 机械手臂、一设于机械手臂上的影像撷取安拆、至多一设于机械手臂上的第一震动传感器、及一设于晶圆搬运安拆一侧的安拆，且安拆包含有一资讯 保持影像撷取安拆的形态 检测部、及一资讯保持第一震动传感器取第二震动传感器的震动检测部。藉上述布局， 使机械手臂兼具晶圆储存形态检测、碰撞感测、及寿命预测等 功能，而避免机械布局动做不稳取检测误差的要素彼此影响， 进而提拔挪动及判断精准度。
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